首家采用全自動溫補工藝,低溫漂陶瓷壓力傳感器
作者:admin
發布時間:2021-07-03
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壓力傳感元件無論是采用MEMS,擴散硅,濺射薄膜或者陶瓷厚膜敏感材料,由于材料及工藝制程中各因數的影響,都存在著隨溫度變化,其零點輸出與滿量程輸出隨之變化的現象,其變化的值,折算到信號滿量程幅度(Vt/Vspan/t),簡稱溫度0系數,其意義代表溫度每變化1°C,所引起的傳感器輸出變化量,例如0.03%/°C,代表每一度溫度影響到精度為0.03%,常規傳統做法是采用分選的辦法,在產品出來后進行篩選,再分級的方法,無法保障整批產品的溫度系數在合格的范圍內。
華芯聯科技推出業界首創的全自動激光溫補工藝,在產品工藝流程上,以在線溫度系數測試及主動溫補激光調阻系統,在器件級別上推出全系列溫度系數低于0.02%/°C的陶瓷壓力傳感器芯體,填補了國內空白。
我司所生產的溫補型陶瓷壓力傳感器芯體,可在-20°C---+85°C溫度范圍內,其溫度系數低于0.02%/°C,在常規0-50°C范圍內低于0.01%/°C,基本可實現“零”溫漂功能,大幅度提升了產品性能,并替代同類型進口高端壓力傳感器,例如METELLUX等品牌。